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在半导体制造工艺中，高纯氢气是退火、外延、化学气相沉积（颁痴顿）等关键环节重要的保护气与反应气。半导体专用氢气发生器凭借现场制氢、纯度高（≥99.9999%）、无钢瓶风险等优势，成为晶圆厂洁净室中的设备。然而，其核心部件对水质、温度与运行状态敏感，只有通过科学、系统的定期维护半导...
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